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北方微电子发布ELEDE 380E大产能高性能PSS刻蚀

  北方微电子公司近期发布了应用于LED领域图形化衬底(PSS)制程的新型大产能高性能ICP刻蚀设备ELEDE380E,该设备基于成熟的ELEDE380平台构架,通过采用最新的高解离率高密度等离子技术,大幅提升了工艺性能,能更好地满足LED PSS制程的发展需求。
  近年来,LED通用照明应用得到了快速发展,目前已经成为LED产品最大的市场需求,未来的市场潜力巨大。北方微电子作为国内LED领域高端设备及工艺解决方案提供商,从2010年就开始深入技术研发,先后推出四代ELEDE系列LED PSS刻蚀机,不断顺应PSS制程技术的发展,赢得了良好的市场口碑。ELEDE 380E作为北方微电子推出的新一代PSS刻蚀机,应用了北方微电子最新开发成功的超高选择比技术(Ultra High Selectivity,UHS),工艺性能大幅提升,具备以下三项优势:
  一、刻蚀选择比高,PSS图形刻蚀高度高形貌好。随着AlN技术的引入,目前主流PSS衬底的尺寸逐渐在向1.8*2.8um的大尺寸规格发展,ELEDE 380E设备不仅能实现1.8*2.8um的尺寸规格,而且还能保证出色的图形形貌和一致,完美匹配大尺寸PSS规格的需求。
  二、降低对光胶厚度要求,提升黄光产能和良率。ELEDE 380E设备具备高选择比的优势,使用比现有PSS刻蚀机更低厚度的光胶就可以实现相同的PSS尺寸规格,低厚度光胶不仅能缩短光刻机曝光时间提升黄光产能,而且也有助于提升黄光良率。
  三、更大的载片容量和更短的维护时间。ELEDE 380E设备标配8片4寸托盘,单盘产能比现有设备提升14%,而且ELEDE 380E设备实现了维护部件全部快速拆卸更换的功能,显著缩短了设备的维护时间,设备产能明显提升。
  ELEDE380E具备的这三项优势,显著提升性能和增大产能,能有效降低客户的生产成本,为面临成本压力的PSS衬底制造领域提供了完美的解决方案。 茄子视频精品免费观看_私人影院免费直播视频_香蕉免费永久精品视频 人人做人人在草线免费观_亚洲香蕉频道免费视频_被窝影院手机版免费 免费的最大亚洲黄页网站_私人影院免费直播视频_黄页网络免费网站 91午夜在线观看免费_男人捅女人免费试看_日本高清不卡不码免费 免费97免费视频人人橾_免费夜夜橾天天橾b_人人播人人免费视频 手机成线在人线免费视频_父女乱欲小说免费阅读_中文字幕免费视频线路1 日本亚洲欧洲免费无线码_香蕉大视频观看免费_成年轻人电影免费免费 永久免费华人在线视频网_高清大片免费网站污_在线看的免费网站黄页 大片免费看大片费看大片_天天碰免费上传视频_天堂网2019在线观看免费 免费资源在线观看2019_美女131黄的全免费_日本最新免费一区 免费看30分钟刺激视频_日本超级大片免费看_天堂tv免费tv在线tv香蕉 日本一码道高清视频免费_免费直播人配人视频_日韩高清视频免费观看 在线成视频免费观看直播_99视频免费热线观看_免费观看a国产种片 久久re免费热精品18_国产免费毛卡片_拍拍拍视频大全免费 欧洲成在人线a免费视频_香蕉免费永久精品视频_日韩国产免费视频线观看

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